《洁净厂房设计规范》GB50073-2013 | 《洁净室施工及验收规范》GB50591-2010 |
《生物安全实验室建筑技术规范》GB50346-2011 | 《无菌医疗器具生产管理规范》YY0033-2000 |
《体外诊断试剂生产实施细则》2006 | 《药品生产质量管理规范》2010 |
《医药工业洁净厂房设计标准》GB50457-2019 | 《医药工艺用水系统设计规范》 GB 50913-2013 |
《药品包装材料生产厂房洁净 - 室(区)的测试方法》 YBB 0041-2004 | 《高效空气过滤器》GB13554--2008 |
《供配电系统设计规范》GB50052--2009 | 《建筑照明设计标准》GB50034—2013 |
《建筑设计防火规范》GB50016—2014 | 《洁净室及相关受控环境性能及合理性评价> GB/T 29469-2012 |
《室内空气质量标准》 GB/T1883-2002 | 《洁净厂房建筑构造》GB 08J907 |
《民用建筑供暖通风与空气调节设计规范》 GB 50736-2012 | 《通风与空调工程施工规范》 GB 50738-2011 |
《通风与空调工程施工质量验收规范》 GB 50243-2016 | 《洁净室用灯具技术要求》 GB 24461-2009 |
《洁净室服装 通用技术规范》 FZ/T 80014-2012 | 《洁净环境电气设备安装》 GB 06D401-4 |
《供配电系统设计规范》 GB 50052-2009 | 《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》 GB 50169-2006 |
《工业建筑供暖通风与空气调节设计规范》GB50019--2015 | 《医院洁净手术部建筑技术规范》 GB 50333-2013 |
《洁净手术部和医用气体设计与安装》 GB 07K505 | 《电子工业洁净厂房设计规范》 GB 50472-2008 |
《食品工业洁净用房建筑技术规范》 GB 50687-2011 | 《电子信息系统机房工程设计及安装》 GB 09DX009 |
洁净度级别 | 悬浮粒子最大允许数/立方米 | |||
静态 | 动态 | |||
≥0.5μm | ≥5.0μm | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
A级 | 3520 | 20 | 3520 | 20 |
B级 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
C级 | 352000 | 2900 | 3520000 | 2900 |
D级 | 3520000 | 29000 | 不作规定 | 不作规定 |
洁净度级别 | 浮游菌 | 沉降菌 | 表明微生物 | |
cfu/m³ | cfu/4小时 | 接触碟(f55mm) | 5指手套 | |
cfu/碟 | cfu/手套 | |||
A级 | <1 | <1 | <1 | <1 |
B级 | 10 | 5 | 5 | 5 |
C级 | 100 | 50 | 25 | — |
D级 | 200 | 100 | 50 | — |
空气洁净度等级(N) | 大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/立方米空气粒子) | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
ISO Class 1 | 10 | 2 | ||||
ISO Class 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | ||
ISO Class 3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | |
ISO Class 4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | |
ISO Class 5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
ISO Class 6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
ISO Class 7 | 352000 | 83200 | 2930 | |||
ISO Class 8 | 3520000 | 832000 | 29300 | |||
ISO Class 9 | 35200000 | 8320000 | 293000 | |||
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平 |
实验室分级 | 处理对象 |
一级 | 对人体、动植物或环境危害较低,不具有对健康成人、动植物致病的致病因子。 |
二级 | 对人体、动植物或环境具有中等危害或具有潜在危险的致病因子,对健康成人、动物和环境不会造成严重危害。有有效的预防和治疗措施。 |
三级 | 对人体、动植物或环境具有高度危险性,主要通过气溶胶使人传染上严重的甚至是致命疾病,或对动植物和环境具有高度危害的致病因子。通常有预防治疗措施。 |
四级 | 对人体、动植物或环境具有高度危险性,通过气溶胶途径传播或传播途径不明,或未知的、危险的致病因子。没有预防治疗措施。 |
名称 | 洁净度级别 | 换气次数(次/h) | 与由室内向外方向上相邻相通房间的压差(Pa) | 温度 ℃ | 相对湿度 % | 噪声dB(A) | 最低照度 lx |
一级 | / | 可自然通风 | / | 16~28 | ≤70 | ≤60 | 300 |
二级 | 8~9 | 非实验动物时可回风≤50%8~10 | -5~-10 | 18~27 | 30~65 | ≤60 | 300 |
三级 | 7-8 | 全新风:10~15主要保护环境:可回风≤30% | -15~-25 | 20~26 | 30~60 | ≤60 | 500 |
四级 | 7-8 | 全新风:>10~15 | -20~-30 | 20~25 | 30~60 | ≤60 | 500 |
产品 工序 | 空气洁净度等级 | 控制粒径 |
半导体:拉单晶 | 6-8 | 0.5μm |
切 磨 抛 | 5-7 | 0.3μm-0.5μm |
清洗 | 3-5 | 0.3μm-0.5μm |
外延 | 3-5 | 0.3μm-0.5μm |
芯片制造:氧化 扩散 清洗 刻蚀 薄膜 离子注入 CMP | 2-5 | 0.1μm-0.5μm |
光刻 | 1-4 | 0.1μm-0.3μm |
检测 | 3-6 | 0.2μm-0.5μm |
设备区 | 6-8 | 0.3μm-0.5μm |
封装:划片 键合 | 5-7 | 0.3μm-0.5μm |
封装 | 6-8 | 0.3μm-0.5μm |
TFT LCD:阵列板(薄膜 光刻 刻蚀 剥离) | 2-5 | 0.2μm-0.3μm |
成盒(涂复 摩擦 液晶注入 切割 磨边) | 3-6 | 0.2μm-0.3μm |
模块 | 4-6 | 0.3μm-0.5μm |
彩膜板(C/F) | 2-5 | 0.2μm-0.3μm |
STN LCD | 6-7 (局部 5级) | 0.3μm-0.5μm |
HDD:制造区 | 3-4 | 0.1μm-0.3μm |
其它区 | 6-7 | 0.3μm-0.5μm |
PDP:核心区 | 6-7 | 0.3μm-0.5μm |
支持区 | 7-8 | 0.3μm-0.5μm |
锂电池:干工艺 | 6-7 | 0.5μm |
其它区 | 7-8 | 0.5μm |
彩色显像管:涂屏 电子检装配 荧光粉 | 6-7 | 0.5μm |
锥石墨涂覆 荫罩装配 | 8 | 0.5μm |
表面处理 | 5-7 | 0.5μm |
电子仪器 微型计算机装配 | 8 | 0.5μm |
高密磁带制造 | 6-8 (局部5级) | 0.5μm |
印制版的照相 制版 干膜 | 7-8 | 0.5μm |
光刀纤维:预制棒 | 6-7 | 0.3μm-0.5μm |
拉丝 | 5-7 | 0.3μm-0.5μm |
光盘制造 | 6-8 | 0.3μm-0.5μm |
磁头生产:核心区 | 5 | 0.3μm |
清洗区 | 6 | 0.3μm |
片式陶瓷电容 片式电阻等制造 丝印 流延 | 8 | 0.5μm |
声表面波器件制造:光刻 显影 | 5 | 0.3μm-0.5μm |
镀膜 清洗 划片 封帽 | 6 | 0.5μm |